平面平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的平面度。
*平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件，例如，平面光學(xué)零件、高精度平臺、平板、導(dǎo)軌、密封件等。平面平晶特別適用于計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平面和樣板。 

平面平晶的技術(shù)參數(shù)

平面直徑d（mm）	基本參數(shù)
	1級		2級
	d范圍內(nèi)	2/3d范圍內(nèi)	d范圍內(nèi)	2/3d范圍內(nèi)
30 45 60	0.03	----	0.1	0.05
80 100 150	0.05	0.03
200 250 300	0.08 0.1 0.15	0.05 0.05 0.09	0.12 0.15 0.2	0.06 0.08 0.1